为半导体制造过程中的核心关键设备,晶圆专用加热盘广泛应用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等核心工艺步骤,是保障半导体生产精准推进的重要支撑。
扬州旭誉产品提供多样化规格选择,涵盖6寸、8寸、10寸、12寸等主流晶圆尺寸,可精准匹配不同产能与工艺需求,适配半导体制造全流程场景。其核心功能聚焦晶圆加热,通过精准温控技术确保工艺全程温度均匀分布,从根源上保障工艺一致性,直接提升半导体产品良率与质量稳定性。
温度范围、加热均匀性等核心技术指标均达到行业严苛标准,是决定工艺成败的关键因素。凭借对温度精度的精准把控和稳定可靠的运行表现,该加热盘有效满足半导体制造对工艺稳定性、产品质量的高要求,为半导体芯片的高效、高品质生产提供坚实的温控保障,成为半导体制造领域的优选关键设备。