扬州旭誉PVD镀膜线用铠装加热器是一种专为物理气相沉积（PVD）工艺设计的高效加热设备，具有耐高温、耐腐蚀、安装便捷等特点，广泛应用于半导体、真空镀膜等领域。
核心结构与材料
加热元件：采用镍铬合金（如Ni80Cr20）或铁铬铝合金，工作温度可达1200℃，具有高电阻率和耐高温特性。
绝缘材料：填充高纯度氧化镁粉（MgO），兼具导热性和电绝缘性（绝缘强度达20kV/mm）。
金属铠装层：外层套管通常为不锈钢（如304、316L）或高温合金（如Inconel600），耐腐蚀、耐高压且机械强度高。
产品特点
耐压抗震：通过模具压实形成坚实体，可承受真空环境下的机械应力。
节能安全：无渗透、防爆设计，适用于高真空环境。
安装便捷：模块化设计，便于集成到PVD镀膜设备中。
应用场景
半导体制造：用于芯片镀膜、金属化层加热。
光伏与光电镀膜：如太阳能薄膜电池、OLED材料的真空镀膜工艺。
精密加工：配合真空腔体和热场组件，实现均匀温度分布。
