扬州旭誉晶圆加热盘,是半导体制造过程中不可或缺的关键设备,凭借精准温控与可靠性能,成为行业高品质生产的核心支撑。
产品采用A6061优质材质打造,兼具出色的导热性与结构稳定性,可根据半导体制造的个性化需求提供灵活订制服务,完美适配不同工艺场景。其广泛应用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等核心工艺步骤,专门针对晶圆加热设计,通过精准温控技术确保工艺全程温度均匀分布,从根源上保障工艺一致性。
温度范围、加热均匀性等核心技术指标均达到半导体制造的严苛标准,直接影响工艺稳定性与产品质量,是决定工艺成败的关键因素。扬州旭誉凭借对半导体制造需求的深刻理解,打造的这款加热盘以稳定可靠的运行表现,为芯片生产提供坚实温控保障,助力用户提升产品良率与生产效率,成为半导体制造领域的优选关键设备。